產品詳細描述

_光掩膜

在半導體制造的整個流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關鍵部分，是流程中造價最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。

應用領域及種類　

光掩膜除了應用于芯片制造外，還廣泛的應用與像LCD，PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個組成部分，基板和不透光材料。基板通常是高純度，低反射率，低熱膨脹系數的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍在玻璃下方厚約0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應用于芯片制造。(順便提一下，通常講的菲林即film，底片或膠片的意思，感光為微小晶體顆粒)。

在刻畫時，采用步進機刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9“ 玻璃板上刻畫，邊緣起點5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進機重復將比例縮小到master maks上，應用到實際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由mastermask復制過來。

制造流程和檢測流程

1，數據轉換 將如GDSII版圖格式分層，運算，格式轉換為設備所知的數據形式。(這一部分會產一些具體的描述)

2，圖形產生 通過電子束或激光進行圖形曝光。

3，光阻顯影 曝光多余圖形，以便進行蝕刻。

4，鉻層刻蝕 對鉻層進行刻蝕，保留圖形。

5，去除光阻 去除多余光刻膠。

6，尺寸測量 測量關鍵尺寸和檢測圖形定位。

7，初始清洗 清洗并檢測作為準備。

8，缺陷檢測 檢測針孔或殘余未蝕刻盡的圖形

9，缺陷補償 對缺陷進行修補。

10，再次清洗 清洗為加蒙版作準備

11，加附蒙版 蒙版(pellicle)加在主體之上，這防止灰塵的吸附及傷害。

12，最后檢查 對光掩膜作最后檢測工作，以確保光罩的正確。

光掩膜的基本檢查大體有：基板，名稱，版別，圖形，排列，膜層關系，傷痕，圖形邊緣，微小尺寸， 絕對尺寸，缺欠檢查等。

數據處理的工藝要求

對于數據處理主要來自于工藝上的要求，在圖形處理上有：

1，直接對應 光掩膜直接對應到版圖的一層，如金屬層。

2，邏輯運算 光刻圖形可能由1層或多層版圖層邏輯運算而來。比如定義pplus與nplus互補，如果只有pplus，nplus將由pplus進行邏輯非的運算得來。在實際處理中以反轉的形式實現。不過值得注意的是，在進行某些邏輯運算時，圖層的順序十分重要。與反轉運算結合進，運算的先后順序也很重要。

3，圖形漲縮 即進行size操作，比如gate處的注入層，從gate size放大而來。

完整的光掩膜圖形中，除了對應電路的圖形外，還包括一些輔助圖形或測試圖形，常見的有：游標，光刻對準圖形，曝光量控制圖形，測試鍵圖形，光學對準目標圖形，劃片槽圖形，和其他名稱，版別等LOGO。

一、用途及特點：蒸鍍掩膜板主要應用于蒸發鍍膜遮擋用，傳統蒸鍍掩膜板一般都是采用開磨具沖壓成型，但是沖壓工藝比較粗糙，公差大，而且精度不高。對高精密的裝配要求用沖壓的工藝無法達到這樣的要求，卓力達生產的蒸鍍掩膜板精度高，采用的是化學蝕刻的工藝制作，蝕刻工藝解決了工業生產中對高精密零部件的要求，最小孔徑可以達到0.01mm，并且孔壁垂直，沒有任何毛刺；平面度保持在0.02mm以下，最小公差可做到+/-0.01mm，是目前國內企業替代臺灣和日本生產技術的首選。
   二、生產能力：針對蒸鍍掩膜板樣品，卓力達配備有專業的樣品制作小組，一般樣品在2-3個工作日內完；針對批量產品我司以強大的技術力量（高級研發工程師8人，工程師16人，技術員20人）和先進以及高效的生產設備（進口卷對卷曝光機/卷對卷涂布線/進口蝕刻機）和專業的生產以及管理團隊來保證產品的產能和質量
   三、交貨方式：以安全，美觀，環保的卓力達統一紙箱捆包，國內快遞巨頭順豐速運24小時不間斷發貨，國內快遞可在24小時內到達。
   四、質量保證以及售后服務承諾：所有蒸鍍掩膜板產品在出貨前均會經過嚴格專業的品質檢驗，確保發貨到您手里的產品是合格產品。若客戶對我司的產品提出質量異議，公司會在4小時內作出處理意見，若需現場解決，我司將派出專業技術人員及品質人員解決，不解決問題人員不撤離，對每次客戶的質量問題及處理結果予以存檔，以做培訓和案例分析。

    問：你們的蒸鍍掩膜板蝕刻工藝成熟么？能批量化大規模生產么？同行為什么價格會更具優勢？ 
答：YES，YES，我們是具有十多年蝕刻加工經驗，有專業化的蝕刻技術團隊。卓力達是最先加入PCMI蝕刻行業協會的公司之一，能隨時接收協會的技術指導，工藝成熟。進口蝕刻生產線，大批量規模化生產，蝕刻自動化，避免更多人員操作，相對于同行，我們價格競爭力高。

    問：和日本，美國蝕刻加工相比，你們為什么賣得更便宜？ 
答：國內的優勢在于轉變快，外加上人工，材料等成本相對于日本，歐美，我們更具優勢。但是，我們并不是坐擁優勢謀取暴利，而是將這部分省去的費用直接回饋給廣大的客戶，讓每一個客戶買到價廉物美的產品，真正做到為客戶著想。

10多年的蝕刻經驗，完善的售后服務。
用心服務，一要“真心”、“誠心”，即服務要從心靈溝通開始。只有用真心、用真誠去傳情達意，才能使彼此的交流更為順暢、更為高效、更為精彩。每一次心靈的交流和理解，都將打破心與心之間的隔閡，縮短心與心之間的距離，為下一步更高境界的心靈之旅做好鋪墊。服務從心靈的溝通開始，是卓力達人對每一位客戶的誠摯承諾。
用心服務，二要“傾心”、“熱心”，即傾注全部心血和精力全心全意為用戶服務，實心實意替用戶著想。傾心、熱心服務，要求我們必須變被動、生硬服務為主動、微笑服務，使“我對用戶微笑”的同時，“用戶也對我微笑”；心為用戶所用，情為用戶所系；急用戶之所急，想用戶之所想；想于用戶未想之先，做于用戶未做之前。 
用心服務，三要“細心”、“耐心”，即細微處見真情，長期堅持見功夫。優質服務就是要從小事做起，從點滴做起，“勿以善小而不為”。細致入微，把一切細小的方面和環節都想到、做到；不厭其煩，耐心做到用戶滿意為止。這樣，我們的服務就會盡善盡美，就不難與用戶建立起牢不可破、長期共榮的相互關系，從而引導需求，滿足需求。

    公司設立在江蘇省南通市，建筑面積40000多平方米，擁用現代化廠房以及一流的生產和實驗、檢測設備。關鍵設備包括：進口蝕刻生產線，恒溫恒濕無塵操作間，曝光機，顯影機，二次元測量儀，自動脫膜生產線等。卓力達所有蒸鍍掩膜板出廠均經過生產巡檢，品質檢測，出庫核實，層層把關，品質值得信賴！

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